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2020-10

真空退火炉是如何进行开炉及停炉的

真空退火炉的开炉和停炉操作如下：开炉：1.首先检查炉子是否有异常状况，如清除残留物质等。2.启动机械设备，打开真空泵进气阀和进气室阀门。打开冷却水阀并调节好压力和水温。3.将样品或衬底放到炉子内，并关闭炉门。4.打开真空泵开关，开始抽真空。当真空度达到要求后，关闭真空泵进气阀和进气室阀门。5.打开加热控制系统的开关，调...

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