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真空退火炉是如何进行开炉及停炉的
类别：行业新闻 发布时间：2023-06-09 10:38:10 浏览：
真空退火炉的开炉和停炉操作如下：
开炉：
1.首先检查炉子是否有异常状况，如清除残留物质等。
2.启动机械设备，打开真空泵进气阀和进气室阀门。打开冷却水阀并调节好压力和水温。
3.将样品或衬底放到炉子内，并关闭炉门。
4.打开真空泵开关，开始抽真空。当真空度达到要求后，关闭真空泵进气阀和进气室阀门。
5.打开加热控制系统的开关，调节温度和时间等参数，开始加热处理。
停炉：
1.将加热控制系统设定为0温度。
2.关闭冷却水阀，并允许炉子冷却至安全范围内。
3.打开真空泵进气阀和进气室阀门，开始通气。
4.等待真空度下降至安全范围，关闭真空泵开关。
5.打开炉门，取出样品或衬底。清空炉内杂物等，检查炉子是否有异常状况。
6.关闭进气阀和进气室阀门，关闭机械设备。
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