真空烧结炉是半导体专用设备系列中的一种新式工艺设备，设计新颖，操作便利，结构紧凑。它可以在一台设备上完结多个工艺流程。装置现场应符合真空卫生要求，周围空气清洁枯燥，通风杰出，工地不易扬尘等。   装置真空烧结炉的场所应符合真空卫生的要求。

　　周围的空气应清洁和枯燥，并有杰出的通风条件，工作场地不易扬起尘埃等。查看操控柜中所有部件及配件是否齐备、完好。操控柜装置在相应的地基上，并固定。安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及操控回路，并牢靠接地，确保接线无误。

　　查看电器可动部分应活动自若，无卡死现象。绝缘电阻应不低于2兆欧姆。真空电炉各阀门必须在封闭位置。操控电源开关放在关位。手动调压旋钮逆时针旋动头。报警钮放在开位。

　　按平面图完结设备的循环冷却水联接，建议在设备总进出水管处再接入一备用水（可用自来水），防止循环水有毛病或断电导致密封圈烧坏。装置完毕后，抽低真空，等水路接通后可试烧一炉，加热手动/主动升温，温度不低于1600℃，加热时刻不少于4小时，预烧完毕后在降温阶段可对分散泵加热。